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IR 광검출기 응용을 위한 미세결정 SiGe 박막성장 연구

Title 
IR 광검출기 응용을 위한 미세결정 SiGe 박막성장 연구
Authors 
김도영
Authors 
김선조; 김형준
Keywords 
터치스크린, IR 광검출기, SiGe, Co-sputtering, 결정화
Issue Date 
2011
Publisher 
한국진공학회
Journal 
한국진공학회 학술발표회초록집
Pages 
298-299
URI 
http://www.dbpia.co.kr/Article/1572477
http://repository.uc.ac.kr/handle/2014.oak/587
Appears in Collections
15. 전기전자공학부 > 연구논문

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